贵州节能真空泵分类

真空泵分为气体输送泵和气体粘合或捕集泵。气体容积式真空泵可以没有限制地使用，而气体粘合真空泵具有有限的气体吸收能力，并且必须在一定的过程相关间隔进行再生。气体容积式泵，也被称为气体输送泵，被分类为往复容积式泵或动能真空泵。容积泵将密封区域的气体置换到大气或下游泵级中。动能泵通过机械驱动系统或通过在抽吸部分结束时冷凝的引导蒸汽流在抽吸方向对气体进行加速来置换气体。气体粘合真空泵通过吸气或在合适温度冷凝气体的方式将气体粘合到特别的活性衬底上。化学吸附是通过被称为吸气泵的泵类型在技术上进行的，该吸附泵通过蒸发和/或升华或溅射不断地产生纯净的吸气面。如果要结合的气体粒子在与吸气面进行相互作用之前在离子吸气泵中被电离了，则它们可通过溅射清洁吸气面的同时被溅射的材料掩盖。非蒸散型吸气剂(NEG)包括反应性高的合金，其主要由锆或钛组成，并且具有非常大的比表面积。气体可以通过微孔渗透到吸气材料的深层里，并在那里结合成稳定的化合物。真空泵在使用过程中，应避免日光直射，远离热源体。贵州节能真空泵分类

据昊青气体装备的研发人员介绍，螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中一种较为理想的真空泵。它能提供清洁无油的真空环境，并且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性，因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域，螺杆式真空泵备受青睐，逐渐成为传统油封机械泵、液环泵的换代产品。螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。它具有以下特点：1、清洁无油，多相混输，适应性普遍。螺杆式真空泵转子间存在严格间隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有害及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。2、结构简单，动平衡好，可靠性高。螺杆式真空泵零部件少，主要部件无易损件，也无不平衡惯性力，运转可靠，寿命长。3、因结构简单，零部件少，所以操作、维修维护简便。4、强制输气，可以在宽压力范围内保证较大抽速，排气量几乎不受排气压力影响。贵州节能真空泵分类在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定的快速发展。

昊青气体装备技术(江苏)有限公司位于江苏省昆山市，交通便利、通讯畅达，是一个集开发、研制、生产、销售于一体的现代化企业，汇集了一批从事真空技术研制开发的专业型人才，可为您提供技术咨询，真空设备选型及安装设计，解决设备使用维护的一系列问题。经过我公司科研人员坚持不懈的努力，产品已经系列化、批量化，产品技术性能日趋完善。始终处于同行业中的地位。螺杆泵在使用过程中可能出现的问题及其处理方法：螺杆泵不吸水或不排水：其原因多为底阀卡死，滤水部分淤塞，吸水高度太高或吸水漏气，也可能因转向不对，叶轮流道堵塞等。通过逐一检查后，可分别采取修理底阀、清理淤塞物、纠正转向、清洗叶轮等措施处理。管路漏水或漏气：可能安装时螺帽拧得不紧。若渗漏不严重，可在漏气或漏水的地方涂抹水泥或用沥青油拌和的水泥浆。临时性的修理可涂些湿泥或软肥皂。若在接头处漏水，则可用手拧紧螺帽。泵机组和管路在使用一段时期后，应做好泵保养工作。若泵和管道都不拆卸时，应用盖板将出口封好，以防杂物进入。传动胶带不用时，应把胶带拆下。

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压。半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体，因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。复合材料在生产过程中，树脂需要靠真空牵引进模具，真空泵就有了用武之地。

获得真空的各种方法真空是由真空泵产生的，真空泵的类型很多，为了获得低压力、大抽速，可以用多级真空泵串联和并联成真空系统。但是所有的真空系统都包含一台初级泵或称之为排大气的真空泵。根据抽气方法的不同，初级真空获得设备分类如下：●机械地截获气体，并将吸入的气体从吸气口输送到排气口，例如变容真空泵。●通过一个射流来传递动量，并将被抽气体带走，例如水蒸汽喷射泵和大气喷射器。●在展开的表面，利用在低温下的多孔介质吸收气体，例如吸附泵。前两类真空泵普遍应用于化工工业领域，但是水蒸汽喷射泵由于耗能大、污染性强，现在己很少使用。吸附泵将被抽气体贮存在泵内，不能直接排向大气，所以亦不适合工业应用。随着真空在化工领域的应用不断增多，采用复合真空系统要更为合适，即由多级真空泵串联而成的真空机组。随着半导体、光电显示等行业的快速发展，螺杆式真空泵已作为一种理想泵得到了普遍的应用。贵州节能真空泵分类

螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。贵州节能真空泵分类

在许多化工企业，真空泵如同水、电和压缩空气一样是不可缺少的公共设施。真空泵通常用以去除空气或水蒸汽，以防止对工艺过程产生干扰，真空泵还可以提高反应过程的效率以及重要化合物的回收率。在真空状态下，液体的沸点降低，这对于处理热敏材料非常有利，在真空条件下，从液态产生的固体终端产物更加均匀，几乎没有气泡造成的空穴。此外，含有侵蚀性的化合物在真空下处理和转移则更为安全。1 真空在化学工艺中所起的作用●去除空气中的氧气和水蒸汽（如果这些成分与工艺组分相结合，会改变化学反应）；●去除过多的反应物或不需要的副产品，兼顾了效率和产额；●降低混合物在蒸馏过程中的沸点；●通过去除溶剂来干燥物料；●利用压差输送物料。贵州节能真空泵分类

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